Elektrotechnický ústav SAV, v. v. i.
Názov témy
Veľkoplošná výroba a charakterizácia 2D materiálov
Program DŠ
Fyzikálne inžinierstvo
Meno školiteľa/-ky
Ing. Marian Varga, PhD.
Kontakt:
Prijímajúca škola
Fakulta elektrotechniky a informatiky STU
Stručná anotácia
Dvojrozmerné (2D) materiály, vrátane dichalkogenidov prechodných kovov (TMD), ako je disulfid molybdénu (MoS2) alebo diselenid platiny (PtSe2), sú jednými zo sľubných materiálov a vstupnou bránou do moderných technológií a optoelektroniky. V súčasnosti existuje veľa výskumov, ktoré študujú výrobu TMD materiálov chemickou depozíciou z pár plynov (CVD), vďaka čomu je použitie týchto 2D materiálov na elektronickom trhu realizovateľné. Použitie alternatívnych metód, ako je pulzná laserová depozícia (PLD), otvára ďalšie možnosti v tejto oblasti a môže poskytnúť porovnávacie výsledky na objasnenie optimalizácie rastu. CVD a PLD systémy dostupné na ElÚ SAV budú použité na štúdium základného aspektu rastu a vlastností TMD materiálov. Pre výskumné aktivity sa optimalizované TMD vrstvy zvyčajne rastú na štandardných substrátoch o veľkosti 1×1 cm2. Z technologického hľadiska je však veľkou výzvou rozšírenie výrobného procesu. Mnohokrát depozičné podmienky (teplota, prietok plynu, tlak, výkon atď.) používané na prípravu vzoriek malých rozmerov nemusia dobre fungovať aj vo väčšom merítku. Z tohto pohľadu, štúdium a optimalizácia veľkorozmernej (4-palcovej) prípravy vrstiev budú novou kapitolou v tejto zaujímavej oblasti výskumu 2D materiálov. Dizertačná práca bude zameraná najmä na vývoj technologických postupov pre prípravu presne definovaných, homogénnych a reprodukovateľných TMD vrstiev na veľkých plochách v novo-inštalovanej dvojzónovej peci. Okrem toho sa predpokladá aj komplexná charakterizácia povrchových a objemových vlastností (vrátane morfologických, chemických, optických a optoelektronických vlastností) pripravených 2D materiálov.