Ponuky SAV pre aplikačnú sféru

Rastrovací kapacitný mikroskop

Kód: IMC-P-00-0024-FU

Fyzikálny ústav SAV

Kontaktná osoba:

Popis:

Rastrovací kapacitný mikroskop (SCM) patrí medzi rastrovacie sondové mikroskopy, snímajúce pomocou sondy, ktorá sa pohybuje v tesnej blízkosti skúmaného povrchu. Na rozdiel od rastrovacích elektrónových mikroskopov nevyžaduje vysoké vákuum, môže pracovať v normálnej atmosfére alebo pod vrstvou kvapaliny. Hodí sa na zobrazovanie reliéfu vodivých povrchov, s rozlišovacou schopnosťou 10 nm, alebo povrchov pokrytých izolačným filmom, na ktorých je rozlišovacia schopnosť o niečo horšia. Osobitné miesto mu prislúcha pri analýze polovodičových štruktúr a považuje sa zatiaľ za jediný prostriedok na nedeštruktívnu analýzu s rozlišovacou schopnosťou na úrovni, požadovanej polovodičovým priemyslom pre potreby budúcej generácie integrovaných obvodov.

Inovácia:

Kapacitné mikroskopy, ponúkané niektorými poprednými výrobcami rastrovacích sondových mikroskopov pracujú na inom princípe, a preto poskytujú obmedzenejšie možnosti ako mikroskop vyvinutý na Fyzikálnom ústave.

Aplikácia:

Strojárstvo, materiálový výskum, polovodičový priemysel, meracia technika, zabezpečovanie kvality.

Stav:

Osvedčený rastrovací sondový mikroskop s prototypom snímacej hlavy, umožňujúcej kombináciu rastrovacieho tunelovacieho a kapacitného mikroskopu, so špičkovou citlivosťou a rozlišovacou schopnosťou.

Spolupráca:

Know-how na zavedenie malosériovej výroby, prípadne jednotlivá výroba.